一种聚合型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310361557.3

申请日：

2013-08-19

公开(公告)号：

CN103469211A

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

唐能攀汪俊姚兵操卫平黄可明

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市涪城区涪城路169号丰谷大厦5楼

IPC主分类号：

C23F11173

IPC分类号：

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

房云;吴彦峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564932141 IPC(主分类):C23F 11/173 专利申请号:2013103615573 申请日:20130819
2015-12-02	授权	授权
2013-12-25	公开	公开
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 11/173 申请日:20130819 授权公告日:20151202 终止日期:20190819

共 50 条

[1]

一种聚合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

王木立 ;

徐慧 ;

狄志刚 ;

尚跃再 ;

赵起锋 ;

陶骞 .

中国专利 :CN105506643A ,2016-04-20

[2]

一类聚合型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

林富荣 ;

崔存凤 ;

孔泳 .

中国专利 :CN104762625B ,2015-07-08

[3]

一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李家俊 ;

刘玉民 ;

吴涛 ;

曹阳 ;

刘学敏 ;

仇进城 .

中国专利 :CN107190265A ,2017-09-22

[4]

一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李双奇 ;

贺凤伟 ;

孙浩妍 .

中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28

[5]

一种吸附成膜型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李志元 ;

王素芳 ;

徐慧 ;

丁秋炜 ;

丁舒 ;

林蓓 ;

于晓微 ;

滕厚开 .

中国专利 :CN106543083A ,2017-03-29

[6]

一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李艳艳 .

中国专利 :CN112877698A ,2021-06-01

[7]

一种双子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李团乐 ;

王俊明 ;

周旭光 .

中国专利 :CN111574453A ,2020-08-25

[8]

一种脲基双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

葛际江 ;

李红伟 ;

张贵才 ;

毛天聪 ;

史源源 ;

张旋 .

中国专利 :CN106432085A ,2017-02-22

[9]

一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P].

连贵宾 ;

赵波 ;

孙新春 ;

何志刚 ;

吴君 ;

卜魁勇 ;

张文辉 ;

刘冬梅 ;

程春雷 .

中国专利 :CN102964306A ,2013-03-13

[10]

一种聚醚改性咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

段向锋 ;

郭琦 ;

袁浩 ;

张光华 ;

张万斌 .

中国专利 :CN111320611A ,2020-06-23

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