一种吸附成膜型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610963169.6

申请日：

2016-11-04

公开(公告)号：

CN106543083A

公开(公告)日：

2017-03-29

发明(设计)人：

李志元王素芳徐慧丁秋炜丁舒林蓓于晓微滕厚开

申请人：

申请人地址：

300131 天津市红桥区丁字沽三号路85号

IPC主分类号：

C07D23326

IPC分类号：

C23F1114

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101715364402 IPC(主分类):C07D 233/26 专利申请号:2016109631696 申请日:20161104
2017-03-29	公开	公开
2019-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李艳艳 .

中国专利 :CN112877698A ,2021-06-01

[2]

一种聚合型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

唐能攀 ;

汪俊 ;

姚兵 ;

操卫平 ;

黄可明 .

中国专利 :CN103469211A ,2013-12-25

[3]

一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李双奇 ;

贺凤伟 ;

孙浩妍 .

中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28

[4]

一种聚合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

王木立 ;

徐慧 ;

狄志刚 ;

尚跃再 ;

赵起锋 ;

陶骞 .

中国专利 :CN105506643A ,2016-04-20

[5]

一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李家俊 ;

刘玉民 ;

吴涛 ;

曹阳 ;

刘学敏 ;

仇进城 .

中国专利 :CN107190265A ,2017-09-22

[6]

一种酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

王素芳 ;

丁秋炜 ;

徐慧 ;

丁舒 ;

林蓓 ;

于晓微 ;

张艳芳 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN106554313B ,2017-04-05

[7]

一种脲基双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

葛际江 ;

李红伟 ;

张贵才 ;

毛天聪 ;

史源源 ;

张旋 .

中国专利 :CN106432085A ,2017-02-22

[8]

一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P].

连贵宾 ;

赵波 ;

孙新春 ;

何志刚 ;

吴君 ;

卜魁勇 ;

张文辉 ;

刘冬梅 ;

程春雷 .

中国专利 :CN102964306A ,2013-03-13

[9]

一种聚醚改性咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

段向锋 ;

郭琦 ;

袁浩 ;

张光华 ;

张万斌 .

中国专利 :CN111320611A ,2020-06-23

[10]

一种咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法 [P].

高晓明 ;

刘利波 ;

聂卫 ;

付峰 ;

高楼军 .

中国专利 :CN109053579A ,2018-12-21

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