一种基于隧道磁阻效应的MEMS微流速传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920979954.X

申请日：

2019-06-27

公开(公告)号：

CN210572369U

公开(公告)日：

2020-05-19

发明(设计)人：

杨波梁卓玥张婷王斌龙

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

IPC主分类号：

G01P508

IPC分类号：

B81B300

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

许方

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 5/08 申请日:20190627 授权公告日:20200519 终止日期:20210627
2020-05-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于隧道磁阻效应的MEMS微流速传感器 [P].

杨波 ;

梁卓玥 ;

张婷 ;

王斌龙 .

中国专利 :CN110261640A ,2019-09-20

[2]

一种基于隧道磁阻效应的MEMS微流速传感器 [P].

杨波 ;

梁卓玥 ;

张婷 ;

王斌龙 .

中国专利 :CN110261640B ,2024-04-09

[3]

一种基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器 [P].

崔敏 ;

刘晓东 ;

黄用 ;

王威 ;

李新娥 .

中国专利 :CN206905691U ,2018-01-19

[4]

基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器 [P].

崔敏 ;

刘晓东 ;

黄用 ;

王威 ;

李新娥 .

中国专利 :CN107131819A ,2017-09-05

[5]

一种基于隧道磁阻效应的宽量程宽频带电流传感器 [P].

胡军 ;

赵帅 ;

欧阳勇 ;

王中旭 ;

何金良 .

中国专利 :CN106018919B ,2016-10-12

[6]

一种居于隧道磁阻传感器的液位计 [P].

刘启富 .

中国专利 :CN209689710U ,2019-11-26

[7]

隧道磁阻压力传感器 [P].

刘泽文 ;

李孟委 ;

李锡广 ;

孙振源 .

中国专利 :CN202853816U ,2013-04-03

[8]

基于隧道磁阻传感器的电子罗盘 [P].

王啸东 .

中国专利 :CN205642390U ,2016-10-12

[9]

一种隧道磁阻效应传感器的低频噪声抑制装置及方法 [P].

石明慧 ;

姚莹飞 ;

徐大诚 ;

高路 .

中国专利 :CN109556647A ,2019-04-02

[10]

基于MEMS的流速传感器、流速测量电路 [P].

温赛赛 ;

胡慧珊 ;

马硕 ;

王新亮 .

中国专利 :CN207423990U ,2018-05-29

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