一种双重响应的光刻胶组合物及其应用

被引：0

申请号：

CN202210268813.3

申请日：

2022-03-18

公开(公告)号：

CN114755887A

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

金峰王健羽郑美玲董贤子

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路29号

IPC主分类号：

G03F7027

IPC分类号：

G03F7004 G03F720

代理机构：

北京正理专利代理有限公司 11257

代理人：

赵晓丹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	公开	公开
2022-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20220318

共 50 条

[1]

一种双重响应的光刻胶组合物及其应用 [P].

金峰 ;

王健羽 ;

郑美玲 ;

董贤子 .

中国专利 :CN114755887B ,2025-11-04

[2]

一种飞秒激光直写光刻胶组合物 [P].

邱毅伟 ;

曹春 ;

沈小明 ;

夏贤梦 ;

匡翠方 ;

黄宁 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113835296A ,2021-12-24

[3]

一种高精度光刻胶组合物及其直写系统 [P].

邱毅伟 ;

曹春 ;

关玲玲 ;

沈小明 ;

夏贤梦 ;

匡翠方 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114185246B ,2022-03-15

[4]

光刻胶组合物及其应用 [P].

罗先刚 ;

杨东旭 ;

彭献 ;

苏凯欣 ;

赵泽宇 ;

高平 ;

王长涛 .

中国专利 :CN114153123A ,2022-03-08

[5]

一种光刻胶组合物及光刻胶 [P].

赵明 ;

张晶晶 ;

刘瑶 ;

李琳 ;

胡登峰 .

中国专利 :CN114415469A ,2022-04-29

[6]

一种光刻胶组合物及光刻胶 [P].

赵明 ;

张晶晶 ;

刘瑶 ;

李琳 ;

胡登峰 .

中国专利 :CN114415469B ,2024-06-11

[7]

一种正性光刻胶组合物及其应用 [P].

张磊 ;

于泽琦 .

中国专利 :CN120447304A ,2025-08-08

[8]

一种光刻胶组合物及光刻胶图案化方法 [P].

李弋舟 ;

江启明 ;

邓辉 ;

李铁峰 .

中国专利 :CN118466115A ,2024-08-09

[9]

一种黑色光刻胶组合物及其应用 [P].

包亚群 .

中国专利 :CN114384760B ,2025-04-22

[10]

一种黑色光刻胶组合物及其应用 [P].

包亚群 .

中国专利 :CN114384760A ,2022-04-22

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