一种飞秒激光直写光刻胶组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111140604.2

申请日：

2021-09-28

公开(公告)号：

CN113835296A

公开(公告)日：

2021-12-24

发明(设计)人：

邱毅伟曹春沈小明夏贤梦匡翠方黄宁刘旭

申请人：

申请人地址：

310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7027

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435

代理人：

奚丽萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	公开	公开
2022-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20210928

共 50 条

[1]

一种有机无机杂化飞秒激光直写光刻胶 [P].

曹春 ;

匡翠方 ;

夏贤梦 ;

沈小明 ;

邱毅伟 ;

关玲玲 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114755884B ,2022-07-15

[2]

一种高精度光刻胶组合物及其直写系统 [P].

邱毅伟 ;

曹春 ;

关玲玲 ;

沈小明 ;

夏贤梦 ;

匡翠方 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114185246B ,2022-03-15

[3]

一种生物基水溶性负性光刻胶及其在飞秒激光直写加工方法中的应用 [P].

史强 ;

李真真 .

中国专利 :CN112835268B ,2021-05-25

[4]

一种智能飞秒激光光刻胶组合物及图案化方法 [P].

曹春 ;

匡翠方 ;

黄宁 ;

刘旭 ;

何敏菲 ;

沈小明 .

中国专利 :CN111999981B ,2024-02-09

[5]

一种智能飞秒激光光刻胶组合物及图案化方法 [P].

曹春 ;

匡翠方 ;

黄宁 ;

刘旭 ;

何敏菲 ;

沈小明 .

中国专利 :CN111999981A ,2020-11-27

[6]

一种双重响应的光刻胶组合物及其应用 [P].

金峰 ;

王健羽 ;

郑美玲 ;

董贤子 .

中国专利 :CN114755887B ,2025-11-04

[7]

一种双重响应的光刻胶组合物及其应用 [P].

金峰 ;

王健羽 ;

郑美玲 ;

董贤子 .

中国专利 :CN114755887A ,2022-07-15

[8]

一种光刻胶组合物及光刻胶 [P].

赵明 ;

张晶晶 ;

刘瑶 ;

李琳 ;

胡登峰 .

中国专利 :CN114415469A ,2022-04-29

[9]

一种光刻胶组合物及光刻胶 [P].

赵明 ;

张晶晶 ;

刘瑶 ;

李琳 ;

胡登峰 .

中国专利 :CN114415469B ,2024-06-11

[10]

玻璃光刻胶、玻璃光刻胶制备方法以及飞秒激光制备方法 [P].

王义平 ;

朱德志 ;

廖常锐 .

中国专利 :CN119472169A ,2025-02-18

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