大气传输单元及具有该大气传输单元的晶片传输系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020538674.4

申请日：

2010-09-20

公开(公告)号：

CN201812803U

公开(公告)日：

2011-04-27

发明(设计)人：

武晔魏晓夏威

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

张天舒;陈源

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-02	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
2020-10-20	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20100920 授权公告日:20110427
2011-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

机械手、大气传输单元和晶片传输方法 [P].

魏晓 .

中国专利 :CN102768977B ,2012-11-07

[2]

大气传输装置 [P].

曾德强 ;

周亚勇 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208127174U ,2018-11-20

[3]

全向传输单元及全向传输系统 [P].

郝登运 ;

季丽伟 ;

都军民 ;

王建楹 ;

王永刚 ;

靳成学 ;

张强 ;

刘校腾 ;

刘浩江 ;

肖铎 ;

刘静涛 .

中国专利 :CN216188911U ,2022-04-05

[4]

全向传输单元以及全向传输单元构成的全向传输系统 [P].

郝登运 ;

王建楹 ;

尹恩华 ;

王永刚 ;

宁璇 ;

巴忠镭 ;

王旺球 .

中国专利 :CN213670527U ,2021-07-13

[5]

晶片传输系统及晶片传输方法 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN106558520A ,2017-04-05

[6]

晶片传输系统及晶片传输方法 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN106558520B ,2025-11-11

[7]

全向传输单元及全向传输系统 [P].

郝登运 ;

季丽伟 ;

都军民 ;

王建楹 ;

王永刚 ;

靳成学 ;

张强 ;

刘校腾 ;

刘浩江 ;

肖铎 ;

刘静涛 .

中国专利 :CN113942818A ,2022-01-18

[8]

全向传输单元以及全向传输单元构成的全向传输系统 [P].

郝登运 ;

王建楹 ;

尹恩华 ;

王永刚 ;

宁璇 ;

巴忠镭 ;

王旺球 .

中国专利 :CN114308684A ,2022-04-12

[9]

晶片传输系统 [P].

张之山 .

中国专利 :CN101383311B ,2009-03-11

[10]

大气至真空离子传输系统 [P].

J·A·斯李维亚 ;

E·R·武泰斯 ;

A·A·马卡罗夫 ;

M·G·斯柯布林 ;

V·I·科兹洛夫斯基 .

中国专利 :CN217035585U ,2022-07-22

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