机械手、大气传输单元和晶片传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110116788.9

申请日：

2011-05-06

公开(公告)号：

CN102768977B

公开(公告)日：

2012-11-07

发明(设计)人：

魏晓

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21687 H01L2100 H01L21677 B25J900

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

张天舒;陈源

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-07	公开	公开
2017-10-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层变更后:100015 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-09-02	授权	授权
2012-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101373119567 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2011101167889 申请日:20110506

共 50 条

[1]

晶片传输机械手装置 [P].

许波涛 ;

郭健辉 ;

易文杰 ;

伍三忠 .

中国专利 :CN2912932Y ,2007-06-20

[2]

大气传输单元及具有该大气传输单元的晶片传输系统 [P].

武晔 ;

魏晓 ;

夏威 .

中国专利 :CN201812803U ,2011-04-27

[3]

晶片吸附式传输机械手 [P].

衣忠波 ;

张玮琪 ;

马林 .

中国专利 :CN101890710A ,2010-11-24

[4]

衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手 [P].

贾军朋 ;

王铁刚 ;

张志坡 ;

冯聚坤 .

中国专利 :CN218442953U ,2023-02-03

[5]

抓取装置、传输机械手及传输系统 [P].

雷强 ;

徐瑞林 ;

袁山富 ;

兰升友 ;

文成龙 .

中国专利 :CN217114340U ,2022-08-02

[6]

掩模机械手及掩模传输方法 [P].

南兑澔 .

中国专利 :CN111324017A ,2020-06-23

[7]

机械手传输位置校准的方法 [P].

刘小俊 ;

左少杰 ;

李春龙 ;

卓鸿俊 .

中国专利 :CN114227657A ,2022-03-25

[8]

双臂大气机械手 [P].

温燕修 ;

李学威 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

王文钊 ;

边弘晔 ;

王鲁非 ;

冯亚磊 .

中国专利 :CN202491239U ,2012-10-17

[9]

多级传输的机械手结构 [P].

彭亚萍 ;

邓金生 ;

谭惊电 ;

李操政 .

中国专利 :CN223206240U ,2025-08-08

[10]

双臂晶圆传输机械手 [P].

刘延杰 ;

吴明月 ;

荣伟彬 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN101436562B ,2009-05-20

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