掩模机械手及掩模传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911266271.0

申请日：

2019-12-11

公开(公告)号：

CN111324017A

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

南兑澔

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

B25J1506

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

彭辉剑;龚慧惠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191211
2020-06-23	公开	公开
2023-01-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20200623

共 50 条

[1]

一种用于掩模传输的机械手 [P].

孙鹤源 ;

王长刚 .

中国专利 :CN104972451A ,2015-10-14

[2]

传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机 [P].

唐文力 ;

朱俊宇 ;

吴芬 ;

郑教增 ;

吴钱忠 ;

祝玥华 .

中国专利 :CN110658685B ,2020-01-07

[3]

一种掩模机械手、机台 [P].

董佳 ;

袁伟 ;

余洋 ;

吴晨瑄 ;

耿大卫 .

中国专利 :CN221459143U ,2024-08-02

[4]

掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 [P].

王长刚 ;

姜杰 .

中国专利 :CN105807574B ,2016-07-27

[5]

用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有其的光刻机 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN107561868A ,2018-01-09

[6]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[7]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[8]

机械手、机械手控制方法及程序 [P].

川上真司 ;

唐子征久 .

中国专利 :CN112672861A ,2021-04-16

[9]

机械手及机械手的动作方法 [P].

池内宏树 ;

朝间由龙 ;

金田侑 ;

渡边哲阳 ;

西村齐宽 ;

无量江翼 .

日本专利 :CN119136957A ,2024-12-13

[10]

机械手及机械手的控制方法 [P].

桥本康彦 .

中国专利 :CN105579203A ,2016-05-11

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