传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810696848.0

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN110658685B

公开(公告)日：

2020-01-07

发明(设计)人：

唐文力朱俊宇吴芬郑教增吴钱忠祝玥华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	授权	授权
2020-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180629
2020-01-07	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模机械手及掩模传输方法 [P].

南兑澔 .

中国专利 :CN111324017A ,2020-06-23

[2]

机械手、基底传输系统和光刻机 [P].

张阔峰 ;

姜杰 ;

郑锋标 ;

郑教增 ;

陈淮阳 ;

陶洪建 ;

王刚 .

中国专利 :CN207402799U ,2018-05-25

[3]

掩模板条码扫描装置和光刻机 [P].

陈庆煌 ;

柯思羽 ;

刘志成 ;

曾暐舜 .

中国专利 :CN214151708U ,2021-09-07

[4]

用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有其的光刻机 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN107561868A ,2018-01-09

[5]

一种掩模对准传感器和光刻机 [P].

王丽 ;

顾俊 .

中国专利 :CN111610699A ,2020-09-01

[6]

光刻机的硅片传输机械手控制器 [P].

吕素英 ;

靖书磊 ;

姜杰 ;

田耀杰 .

中国专利 :CN203287744U ,2013-11-13

[7]

光刻机掩模预对准装置及方法 [P].

张品祥 ;

郭勇 ;

朱立荣 .

中国专利 :CN102486622B ,2012-06-06

[8]

光刻机掩模预对准系统 [P].

朱立荣 ;

储兆祥 .

中国专利 :CN101403865A ,2009-04-08

[9]

限位机构、掩模台及光刻机 [P].

钱林峰 ;

黄亚庆 ;

丛国栋 .

中国专利 :CN112578639A ,2021-03-30

[10]

掩模缺陷检测装置、掩模缺陷检测系统以及光刻机系统 [P].

沙鹏飞 ;

吴晓斌 ;

王魁波 ;

马翔宇 ;

尹皓玉 ;

方旭晨 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114563348A ,2022-05-31

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