掩模板条码扫描装置和光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023284034.8

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN214151708U

公开(公告)日：

2021-09-07

发明(设计)人：

陈庆煌柯思羽刘志成曾暐舜

申请人：

申请人地址：

250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室

IPC主分类号：

G06K710

IPC分类号：

G03F720 F16M1104 F16M1118

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

刘曾

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-07	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机测试掩模版 [P].

王俊峰 .

中国专利 :CN220691253U ,2024-03-29

[2]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

[3]

位移测量装置、掩模台测量系统和光刻机 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN212806922U ,2021-03-26

[4]

一种光刻机光掩模夹具和JBX光刻机 [P].

陈灏霆 ;

葛海鸣 ;

孙长杰 ;

张卓维 ;

廖浩 ;

曹宇 .

中国专利 :CN120871552A ,2025-10-31

[5]

成像装置和光刻机 [P].

胡刚 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN213069471U ,2021-04-27

[6]

具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201583783U ,2010-09-15

[7]

一种自动对准移动掩模光刻机 [P].

陈杰相 .

中国专利 :CN215297940U ,2021-12-24

[8]

一种扫描光刻机掩模台位置测量装置 [P].

齐芊枫 ;

李志龙 ;

李正贤 .

中国专利 :CN102117016A ,2011-07-06

[9]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[10]

光刻机掩模的优化方法 [P].

王磊 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

杨朝兴 .

中国专利 :CN105573066A ,2016-05-11

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