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成像装置和光刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021586260.9
申请日：
2020-08-03
公开(公告)号：
CN213069471U
公开(公告)日：
2021-04-27
发明(设计)人：
胡刚
项宗齐
申请人：
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京景闻知识产权代理有限公司 11742
代理人：
常鹏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-27 | 授权 | 授权 |