光刻机台供水设备、涂胶显影机和光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820919744.7

申请日：

2018-06-14

公开(公告)号：

CN208444135U

公开(公告)日：

2019-01-29

发明(设计)人：

赵鹏徐猛古哲安黄志凯叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

G03F716 G03F730 G03F720

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[2]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[3]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[4]

光刻机台、显影装置及其显影方法 [P].

王明山 ;

曾振助 ;

郑雅夫 ;

林明辉 .

中国专利 :CN1949083A ,2007-04-18

[5]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[6]

郭耸 ;

徐程 .

中国专利 :CN302441447S ,2013-05-22

[7]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[8]

光刻机及光刻机用上版夹具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204215146U ,2015-03-18

[9]

张宾 .

中国专利 :CN218350710U ,2023-01-20

[10]

袁伟 .

中国专利 :CN102495536A ,2012-06-13

← 1 2 3 4 5 →