光刻机台、显影装置及其显影方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610138025.3

申请日：

2006-11-02

公开(公告)号：

CN1949083A

公开(公告)日：

2007-04-18

发明(设计)人：

王明山曾振助郑雅夫林明辉

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

G03F720 H01L21027

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

梁挥;徐金国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003937367 IPC(主分类):G03F 7/30 专利申请号:2006101380253 公开日:20070418
2007-04-18	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻机、显影装置及显影方法 [P].

张成根 ;

林锺吉 ;

金在植 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

周娜 .

中国专利 :CN114764218A ,2022-07-19

[2]

光刻显影方法和显影装置 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN119126505A ,2024-12-13

[3]

光刻机台供水设备、涂胶显影机和光刻机 [P].

赵鹏 ;

徐猛 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208444135U ,2019-01-29

[4]

一种显影装置及其显影方法、光刻设备 [P].

见帅敏 ;

孟维欣 ;

郭建 ;

解洋 ;

徐景华 ;

李晓锦 ;

孙壮壮 .

中国专利 :CN108255024A ,2018-07-06

[5]

光刻胶显影装置 [P].

金海猷 .

中国专利 :CN203630511U ,2014-06-04

[6]

光刻显影装置 [P].

张治超 ;

孙亮 ;

郭总杰 ;

刘正 ;

赵海廷 ;

林承武 .

中国专利 :CN202995258U ,2013-06-12

[7]

一种新型光刻胶显影装置及显影方法 [P].

王晓龙 ;

姚俊俊 .

中国专利 :CN109375481A ,2019-02-22

[8]

光刻胶显影工艺及其装置 [P].

金海涛 ;

徐飞 ;

王夏 .

中国专利 :CN102109776A ,2011-06-29

[9]

显影装置及其显影方法 [P].

涂乐志 .

中国专利 :CN110347016A ,2019-10-18

[10]

晶圆显影装置及其显影方法 [P].

程潇 ;

方超 ;

袁文旭 ;

袁元 ;

高志虎 .

中国专利 :CN110687758B ,2024-01-02

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