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晶圆显影装置及其显影方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911011455.2
申请日：
2019-10-23
公开(公告)号：
CN110687758B
公开(公告)日：
2024-01-02
发明(设计)人：
程潇
方超
袁文旭
袁元
高志虎
申请人：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址：
430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
IPC主分类号：
G03F7/30
IPC分类号：
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯;岳丹丹
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-02 | 授权 | 授权 |