一种晶圆显影装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420813677.6

申请日：

2024-04-18

公开(公告)号：

CN222319288U

公开(公告)日：

2025-01-07

发明(设计)人：

陈雷达霍瑞霞武忙虎

申请人：

珠海天成先进半导体科技有限公司

申请人地址：

519080 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层628室(集中办公区)

IPC主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

钟德超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆手动显影装置 [P].

王程刚 ;

张敏 .

中国专利 :CN221281405U ,2024-07-05

[2]

晶圆显影装置、方法和晶圆 [P].

肖清凯 ;

李瑶 ;

熊超超 .

中国专利 :CN112965347A ,2021-06-15

[3]

晶圆显影装置及其显影方法 [P].

程潇 ;

方超 ;

袁文旭 ;

袁元 ;

高志虎 .

中国专利 :CN110687758B ,2024-01-02

[4]

晶圆显影装置及其显影方法 [P].

程潇 ;

方超 ;

袁文旭 ;

袁元 ;

高志虎 .

中国专利 :CN110687758A ,2020-01-14

[5]

晶圆显影装置及方法 [P].

徐春云 .

中国专利 :CN103631100A ,2014-03-12

[6]

一种显影装置和晶圆显影良率提升方法 [P].

胡苏 ;

宋明辉 ;

张龙彪 .

中国专利 :CN118276418A ,2024-07-02

[7]

一种晶圆加工效率高的显影装置 [P].

钟兴进 .

中国专利 :CN214042009U ,2021-08-24

[8]

一种单片晶圆显影装置 [P].

彭鹏飞 ;

宋艳汝 ;

方维政 ;

徐旭光 .

中国专利 :CN217467466U ,2022-09-20

[9]

一种新型晶圆涂胶显影装置 [P].

姚舜捷 .

中国专利 :CN209560263U ,2019-10-29

[10]

一种晶圆匀胶显影装置 [P].

汪钢 ;

袁创迪 .

中国专利 :CN113721425A ,2021-11-30

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