一种单片晶圆显影装置

被引：0

申请号：

CN202221005563.6

申请日：

2022-04-27

公开(公告)号：

CN217467466U

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

彭鹏飞宋艳汝方维政徐旭光

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区华夏中路393号

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

石应杰;许亦琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[2]

一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮 [P].

曲迪 ;

宋学颖 ;

李宗宴 .

中国专利 :CN223377600U ,2025-09-23

[3]

一种单片晶圆盒 [P].

胡明 ;

王虎 ;

安海岩 ;

段会强 .

中国专利 :CN208655597U ,2019-03-26

[4]

一种单片晶圆盒 [P].

何施亮 .

中国专利 :CN210296324U ,2020-04-10

[5]

单片晶圆湿法刻蚀装置 [P].

禹国宾 ;

刘焕新 ;

吴兵 .

中国专利 :CN202307830U ,2012-07-04

[6]

一种单片晶圆自动转换器 [P].

吴勇 ;

朱爱峰 ;

蔡爱军 ;

顾广安 .

中国专利 :CN216488014U ,2022-05-10

[7]

一种单片晶圆杯式电镀装置 [P].

吴攀 ;

齐鹏 .

中国专利 :CN223150676U ,2025-07-25

[8]

一种单片晶圆的边缘打磨装置 [P].

甘志金 ;

俞荣贵 ;

张德海 .

中国专利 :CN222806689U ,2025-04-29

[9]

一种单片晶圆清洗台机构 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212570946U ,2021-02-19

[10]

一种晶圆显影装置 [P].

陈雷达 ;

霍瑞霞 ;

武忙虎 .

中国专利 :CN222319288U ,2025-01-07

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