一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422180666.1

申请日：

2024-09-05

公开(公告)号：

CN223377600U

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

曲迪宋学颖李宗宴

申请人：

天津华慧新科智能装备有限公司

申请人地址：

300467 天津市滨海新区中新生态城滨海旅游区安正路以东、海旭道以北滨旅产业园B06厂房南侧一层

IPC主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

代理机构：

天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101

代理人：

冯舜英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[2]

一种单片晶圆显影装置 [P].

彭鹏飞 ;

宋艳汝 ;

方维政 ;

徐旭光 .

中国专利 :CN217467466U ,2022-09-20

[3]

一种整片晶圆剥离花篮 [P].

靳春艳 ;

曲迪 ;

陈墨 ;

白国人 ;

闫青芝 .

中国专利 :CN209607714U ,2019-11-08

[4]

一种单片晶圆盒 [P].

胡明 ;

王虎 ;

安海岩 ;

段会强 .

中国专利 :CN208655597U ,2019-03-26

[5]

一种单片晶圆盒 [P].

何施亮 .

中国专利 :CN210296324U ,2020-04-10

[6]

一种单片晶圆杯式电镀装置 [P].

吴攀 ;

齐鹏 .

中国专利 :CN223150676U ,2025-07-25

[7]

一种晶圆单片清洗花篮 [P].

李松松 ;

成飞 .

中国专利 :CN213716856U ,2021-07-16

[8]

一种单片晶圆清洗台机构 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212570946U ,2021-02-19

[9]

一种单片晶圆自动转换器 [P].

吴勇 ;

朱爱峰 ;

蔡爱军 ;

顾广安 .

中国专利 :CN216488014U ,2022-05-10

[10]

一种多尺寸单片晶圆电镀夹具 [P].

杨光宇 .

中国专利 :CN207904400U ,2018-09-25

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