一种整片晶圆剥离花篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920561271.2

申请日：

2019-04-23

公开(公告)号：

CN209607714U

公开(公告)日：

2019-11-08

发明(设计)人：

靳春艳曲迪陈墨白国人闫青芝

申请人：

申请人地址：

300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101

代理人：

许爱文

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[2]

一种多片装晶圆剥离花篮 [P].

靳春艳 ;

曲迪 ;

陈墨 ;

白国人 ;

闫青芝 .

中国专利 :CN209691733U ,2019-11-26

[3]

整片晶圆纳米压印的装置 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN201926865U ,2011-08-10

[4]

一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮 [P].

曲迪 ;

宋学颖 ;

李宗宴 .

中国专利 :CN223377600U ,2025-09-23

[5]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

孙立 ;

胡金鑫 ;

刘晖 .

中国专利 :CN214704303U ,2021-11-12

[6]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN202205025U ,2012-04-25

[7]

一种微型电子器件的整片晶圆级封装结构 [P].

刘敬勇 ;

朱卫俊 ;

沈得田 ;

李勇 ;

林毅 ;

马杰 ;

王祥邦 ;

於保伟 .

中国专利 :CN210273992U ,2020-04-07

[8]

一种整片兼容半片花篮 [P].

宋文 .

中国专利 :CN215680634U ,2022-01-28

[9]

一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN202210213U ,2012-05-02

[10]

一种硅片晶圆加工设备 [P].

万关良 .

中国专利 :CN214625004U ,2021-11-05

← 1 2 3 4 5 →