一种单片晶圆盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821461403.6

申请日：

2018-09-07

公开(公告)号：

CN208655597U

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

胡明王虎安海岩段会强

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

刘杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单片晶圆盒 [P].

何施亮 .

中国专利 :CN210296324U ,2020-04-10

[2]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[3]

一种半导体单片晶圆超声波清洗装置 [P].

刘忠德 ;

覃忠良 ;

文小永 .

中国专利 :CN118629914A ,2024-09-10

[4]

一种单片晶圆自动转换器 [P].

吴勇 ;

朱爱峰 ;

蔡爱军 ;

顾广安 .

中国专利 :CN216488014U ,2022-05-10

[5]

一种单片晶圆显影装置 [P].

彭鹏飞 ;

宋艳汝 ;

方维政 ;

徐旭光 .

中国专利 :CN217467466U ,2022-09-20

[6]

一种单片晶圆减薄装置 [P].

贾波 ;

楚浩杰 ;

焦二强 ;

李建刚 ;

王帅斌 .

中国专利 :CN223588966U ,2025-11-25

[7]

一种单片晶圆清洗机 [P].

童春健 ;

顾旭峰 .

中国专利 :CN222931350U ,2025-06-03

[8]

一种单片晶圆清洗台机构 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212570946U ,2021-02-19

[9]

单片晶圆湿法刻蚀装置 [P].

禹国宾 ;

刘焕新 ;

吴兵 .

中国专利 :CN202307830U ,2012-07-04

[10]

多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具 [P].

俞挺 ;

张学敏 ;

丁海舰 .

中国专利 :CN204237882U ,2015-04-01

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