一种单片晶圆盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921209461.4

申请日：

2019-07-30

公开(公告)号：

CN210296324U

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

何施亮

申请人：

申请人地址：

215500 江苏省苏州市常熟市联丰路68号26-1

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

苏州广正知识产权代理有限公司 32234

代理人：

谢东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单片晶圆盒 [P].

胡明 ;

王虎 ;

安海岩 ;

段会强 .

中国专利 :CN208655597U ,2019-03-26

[2]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[3]

一种单片晶圆显影装置 [P].

彭鹏飞 ;

宋艳汝 ;

方维政 ;

徐旭光 .

中国专利 :CN217467466U ,2022-09-20

[4]

一种单片晶圆清洗台机构 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212570946U ,2021-02-19

[5]

单片晶圆湿法刻蚀装置 [P].

禹国宾 ;

刘焕新 ;

吴兵 .

中国专利 :CN202307830U ,2012-07-04

[6]

一种双层四腔室单片晶圆清洗设备 [P].

江永 .

中国专利 :CN221551847U ,2024-08-16

[7]

一种单片晶圆自动转换器 [P].

吴勇 ;

朱爱峰 ;

蔡爱军 ;

顾广安 .

中国专利 :CN216488014U ,2022-05-10

[8]

一种单片晶圆清洗装置喷嘴机构 [P].

李刚 ;

郭亚飞 ;

殷驰 ;

周志勇 .

中国专利 :CN222020199U ,2024-11-19

[9]

一种多尺寸单片晶圆电镀夹具 [P].

杨光宇 .

中国专利 :CN207904400U ,2018-09-25

[10]

一种集合式单片晶圆清洗喷嘴 [P].

李刚 ;

童建 ;

周兴江 ;

吴鹏涛 ;

沈文镇 .

中国专利 :CN223543214U ,2025-11-14

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