一种单片晶圆清洗装置喷嘴机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420018649.5

申请日：

2024-01-03

公开(公告)号：

CN222020199U

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

李刚郭亚飞殷驰周志勇

申请人：

无锡亚电智能装备有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号软件园海豚座B1座1层

IPC主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B05B15/68 H01L21/67

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

单片晶圆清洗装置 [P].

钱诚 ;

夏振 ;

霍召军 .

中国专利 :CN214624981U ,2021-11-05

[2]

单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置 [P].

钱诚 ;

李文亭 ;

朱震 .

中国专利 :CN113113328B ,2021-07-13

[3]

一种集合式单片晶圆清洗喷嘴 [P].

李刚 ;

童建 ;

周兴江 ;

吴鹏涛 ;

沈文镇 .

中国专利 :CN223543214U ,2025-11-14

[4]

单片晶圆清洗装置清洗盘结构 [P].

钱诚 ;

李文亭 ;

朱震 .

中国专利 :CN214254367U ,2021-09-21

[5]

一种单片晶圆超声波清洗装置 [P].

张伟 .

中国专利 :CN120714959A ,2025-09-30

[6]

单片晶圆清洗方法 [P].

钱诚 ;

夏振 ;

霍召军 .

中国专利 :CN113083766A ,2021-07-09

[7]

单片晶圆清洗系统及方法 [P].

陈信宏 ;

黄焱誊 .

中国专利 :CN112871811A ,2021-06-01

[8]

一种单片晶圆清洗装置的风道装置 [P].

李刚 ;

郭亚飞 ;

殷驰 .

中国专利 :CN221762949U ,2024-09-24

[9]

一种单片晶圆清洗设备挡液装置 [P].

李刚 ;

李博伦 ;

郭亚飞 .

中国专利 :CN221041049U ,2024-05-28

[10]

一种单片晶圆清洗装置温度控制方法和系统 [P].

李刚 ;

刘青松 ;

夏振 ;

李文亭 ;

章斌 .

中国专利 :CN117912991B ,2024-08-20

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