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单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110239959.0
申请日：
2021-03-04
公开(公告)号：
CN113113328B
公开(公告)日：
2021-07-13
发明(设计)人：
钱诚
李文亭
朱震
申请人：
申请人地址：
225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317
代理人：
陈平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-31 | 授权 | 授权 |
| 2021-07-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210304 |
| 2021-07-13 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20220811 变更事项:申请人 变更前权利人:亚电科技南京有限公司 变更后权利人:江苏亚电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:210000 江苏省南京市江宁区双龙大道1347号同曦大厦605-7室（江宁开发区） 变更后权利人:225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号 |