光刻机、显影装置及显影方法

被引：0

申请号：

CN202110056672.4

申请日：

2021-01-15

公开(公告)号：

CN114764218A

公开(公告)日：

2022-07-19

发明(设计)人：

张成根林锺吉金在植丁明正贺晓彬刘强王桂磊周娜

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

刘广达

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20210115
2022-07-19	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻机台、显影装置及其显影方法 [P].

王明山 ;

曾振助 ;

郑雅夫 ;

林明辉 .

中国专利 :CN1949083A ,2007-04-18

[2]

光刻显影方法和显影装置 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN119126505A ,2024-12-13

[3]

光刻机台供水设备、涂胶显影机和光刻机 [P].

赵鹏 ;

徐猛 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208444135U ,2019-01-29

[4]

显影方法及显影装置 [P].

杨洋 ;

王忠诚 .

中国专利 :CN115327868A ,2022-11-11

[5]

显影方法及显影装置 [P].

白永智 ;

何俊龙 ;

廖文超 ;

孙世强 ;

柯汉奇 .

中国专利 :CN117311106B ,2024-02-09

[6]

光刻显影装置 [P].

张治超 ;

孙亮 ;

郭总杰 ;

刘正 ;

赵海廷 ;

林承武 .

中国专利 :CN202995258U ,2013-06-12

[7]

一种新型光刻胶显影装置及显影方法 [P].

王晓龙 ;

姚俊俊 .

中国专利 :CN109375481A ,2019-02-22

[8]

光刻胶显影装置 [P].

金海猷 .

中国专利 :CN203630511U ,2014-06-04

[9]

显影装置及显影方法 [P].

大河内厚 ;

山本太郎 ;

竹口博史 ;

京田秀治 ;

吉原孝介 .

中国专利 :CN1918694A ,2007-02-21

[10]

显影装置和光刻系统 [P].

汪杰 ;

杨莉 ;

周汝树 .

中国专利 :CN215264378U ,2021-12-21

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