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光刻机光源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820709656.4
申请日：
2018-05-14
公开(公告)号：
CN208399889U
公开(公告)日：
2019-01-18
发明(设计)人：
敬立成
戴滔
张斌
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥新玉路48号大宏科技园1306
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-18 | 授权 | 授权 |