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一种光刻机光源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921322791.4
申请日：
2019-08-14
公开(公告)号：
CN210954608U
公开(公告)日：
2020-07-07
发明(设计)人：
唐阳明
申请人：
申请人地址：
200000 上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层199室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-07 | 授权 | 授权 |