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一种光刻机光源发生装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111279995.6
申请日：
2021-11-01
公开(公告)号：
CN113759490B
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
王华
吴中海
甘泉
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）
IPC主分类号：
G02B704
IPC分类号：
G03F720
H01S310
代理机构：
深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604
代理人：
王晓艳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-01 | 授权 | 授权 |
| 2021-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 7/04 申请日:20211101 |