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一种光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022810952.3
申请日：
2020-11-28
公开(公告)号：
CN213581739U
公开(公告)日：
2021-06-29
发明(设计)人：
王华
吴中海
甘泉
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231
代理人：
成伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-29 | 授权 | 授权 |