共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种光刻机用混合光源发生装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011363096.X
申请日：
2020-11-28
公开(公告)号：
CN112379576A
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
王华
吴中海
甘泉
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231
代理人：
成伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20201128 |
| 2021-03-02 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:申请人 变更前:东莞科视自动化科技有限公司 变更后:广东科视光学技术股份有限公司 变更事项:地址 变更前:523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼） 变更后:523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼) |
| 2021-02-19 | 公开 | 公开 |