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光源衰减装置及光刻机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811161692.2
申请日：
2018-09-30
公开(公告)号：
CN110967930B
公开(公告)日：
2020-04-07
发明(设计)人：
王彦飞
周伟
章富平
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180930 |
| 2020-04-07 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-11 | 授权 | 授权 |