光刻方法及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511489132.X

申请日：

2025-10-17

公开(公告)号：

CN120949523B

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

李海峰赵志豪沈俊明古哲安吴建宏

申请人：

合肥晶合集成电路股份有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

甄丹凤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20251017
2025-12-16	授权	授权
2025-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻方法及光刻机 [P].

李海峰 ;

赵志豪 ;

沈俊明 ;

古哲安 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN120949523A ,2025-11-14

[2]

光刻机及光刻机污染控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 .

中国专利 :CN119781255A ,2025-04-08

[3]

光刻机对准方法、装置及光刻机 [P].

罗先刚 ;

李成建 ;

刘明刚 .

中国专利 :CN119356050A ,2025-01-24

[4]

光刻机照明系统及光刻机 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28

[5]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[6]

光刻机及光刻机用上版夹具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204215146U ,2015-03-18

[7]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN117369084A ,2024-01-09

[8]

用于光刻机测试的光刻版及光刻机的测试方法 [P].

黄玮 .

中国专利 :CN102540737B ,2012-07-04

[9]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676A ,2022-12-30

[10]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676B ,2025-09-23

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