衰减装置及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721440266.3

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN207408740U

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

陈梦来

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光源衰减装置及光刻机 [P].

王彦飞 ;

周伟 ;

章富平 .

中国专利 :CN110967930B ,2020-04-07

[2]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[3]

光刻机及光刻机用上版夹具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204215146U ,2015-03-18

[4]

曝光装置及光刻机 [P].

周朦 ;

李鑫 ;

王永锋 ;

李新章 .

中国专利 :CN223065644U ,2025-07-04

[5]

光刻机对准方法、装置及光刻机 [P].

罗先刚 ;

李成建 ;

刘明刚 .

中国专利 :CN119356050A ,2025-01-24

[6]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[7]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[8]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[9]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[10]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

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