LED光源和光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721110314.2

申请日：

2017-08-31

公开(公告)号：

CN207096678U

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

钱俊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-13	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机光源装置 [P].

敬立成 ;

戴滔 ;

张斌 .

中国专利 :CN208399889U ,2019-01-18

[2]

具有LED光源的直写光刻机 [P].

王骥 ;

张东涛 .

中国专利 :CN201159831Y ,2008-12-03

[3]

一种光刻机光源 [P].

孙者利 ;

张运 .

中国专利 :CN205210510U ,2016-05-04

[4]

一种基于紫外LED光源的光刻机 [P].

王向贤 ;

明海 ;

张斗国 ;

胡继刚 ;

陈鲁 ;

汪波 ;

陈漪恺 .

中国专利 :CN102289155A ,2011-12-21

[5]

一种基于紫外LED光源的光刻机 [P].

王向贤 ;

明海 ;

张斗国 ;

胡继刚 ;

陈鲁 ;

汪波 ;

陈漪恺 .

中国专利 :CN202189229U ,2012-04-11

[6]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[7]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[8]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[9]

复合波长LED光源的光刻直写光学结构及直写光刻机 [P].

朱守明 ;

俞庆平 ;

郑国亮 .

中国专利 :CN212658942U ,2021-03-05

[10]

一种基于QLED光源的光刻机 [P].

盛晨航 ;

彭娟 ;

李喜峰 ;

张建华 .

中国专利 :CN203858450U ,2014-10-01

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