具有LED光源的直写光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820032642.X

申请日：

2008-02-25

公开(公告)号：

CN201159831Y

公开(公告)日：

2008-12-03

发明(设计)人：

王骥张东涛

申请人：

申请人地址：

230601安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

合肥金安专利事务所

代理人：

金惠贞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-03	授权	授权
2014-04-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101581557875 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL200820032642X 申请日:20080225 授权公告日:20081203 终止日期:20130225

共 50 条

[1]

具有OLED光源的直写光刻机 [P].

何少锋 ;

靳莉 .

中国专利 :CN201522612U ,2010-07-07

[2]

具有超高强度LED光源的无掩膜直写光刻机 [P].

张东涛 .

中国专利 :CN201159832Y ,2008-12-03

[3]

复合波长LED光源的光刻直写光学结构及直写光刻机 [P].

朱守明 ;

俞庆平 ;

郑国亮 .

中国专利 :CN212658942U ,2021-03-05

[4]

具有超高强度LED光源的无掩膜直写光刻机 [P].

张东涛 .

中国专利 :CN100576089C ,2008-07-30

[5]

LED光源和光刻机 [P].

钱俊 .

中国专利 :CN207096678U ,2018-03-13

[6]

用于直写光刻机的精密定位步进系统及直写光刻机 [P].

李辉 .

中国专利 :CN213843753U ,2021-07-30

[7]

控制直写式光刻机的方法和直写式光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN113934115A ,2022-01-14

[8]

一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机 [P].

王新旺 ;

刘涛 ;

杨振玲 .

中国专利 :CN206057793U ,2017-03-29

[9]

丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机 [P].

于成信 .

中国专利 :CN117706879A ,2024-03-15

[10]

光刻机光源装置 [P].

敬立成 ;

戴滔 ;

张斌 .

中国专利 :CN208399889U ,2019-01-18

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