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一种光刻机光源发生装置
被引：0
申请号：
CN202210218521.9
申请日：
2022-03-08
公开(公告)号：
CN114415480B
公开(公告)日：
2022-04-29
发明(设计)人：
陈志特
王华
吴中海
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604
代理人：
王晓艳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220308 |
| 2022-09-09 | 授权 | 授权 |