一种光刻机用光源灯箱

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721399362.8

申请日：

2017-10-27

公开(公告)号：

CN207318934U

公开(公告)日：

2018-05-04

发明(设计)人：

张怀宣

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区沈梅路600号4栋1楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251

代理人：

郭桂峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机光源 [P].

孙者利 ;

张运 .

中国专利 :CN205210510U ,2016-05-04

[2]

光刻机光源装置 [P].

敬立成 ;

戴滔 ;

张斌 .

中国专利 :CN208399889U ,2019-01-18

[3]

一种光刻机光源装置 [P].

唐阳明 .

中国专利 :CN210954608U ,2020-07-07

[4]

LED光源和光刻机 [P].

钱俊 .

中国专利 :CN207096678U ,2018-03-13

[5]

一种光刻机的光源结构 [P].

李建鑫 ;

何晶洋 .

中国专利 :CN223217781U ,2025-08-12

[6]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[7]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[8]

一种光刻用光纤束以及光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488716A ,2022-05-13

[9]

一种基于QLED光源的光刻机 [P].

盛晨航 ;

彭娟 ;

李喜峰 ;

张建华 .

中国专利 :CN203858450U ,2014-10-01

[10]

一种光刻用光纤束以及光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488716B ,2024-04-05

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