机械手、基底传输系统和光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721514589.2

申请日：

2017-11-14

公开(公告)号：

CN207402799U

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

张阔峰姜杰郑锋标郑教增陈淮阳陶洪建王刚

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

B25J1508

IPC分类号：

B25J1800 G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机的硅片传输机械手控制器 [P].

吕素英 ;

靖书磊 ;

姜杰 ;

田耀杰 .

中国专利 :CN203287744U ,2013-11-13

[2]

传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机 [P].

唐文力 ;

朱俊宇 ;

吴芬 ;

郑教增 ;

吴钱忠 ;

祝玥华 .

中国专利 :CN110658685B ,2020-01-07

[3]

浸没式光刻机基底台系统、浸没式光刻机 [P].

魏龙飞 ;

丛国栋 ;

方洁 .

中国专利 :CN207051662U ,2018-02-27

[4]

基于神经网络的多传输机械手光刻机及其协同控制系统 [P].

朱书伟 .

中国专利 :CN111482958A ,2020-08-04

[5]

一种夹持精度高的光刻机用机械手 [P].

刘勇 ;

王云鹏 ;

汪松亮 .

中国专利 :CN222932781U ,2025-06-03

[6]

一种光刻机设备用机械手装置 [P].

于航 ;

刘俊嘉 ;

董志强 ;

马占良 .

中国专利 :CN215449886U ,2022-01-07

[7]

浸没式光刻机基底台系统、浸没式光刻机 [P].

魏龙飞 ;

丛国栋 ;

方洁 .

中国专利 :CN108663906A ,2018-10-16

[8]

用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有其的光刻机 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN107561868A ,2018-01-09

[9]

机械手和机械手系统 [P].

兵头亮治 ;

岸宏亮 .

中国专利 :CN107206597A ,2017-09-26

[10]

机械手系统和机械手 [P].

金泽曜平 ;

赤川直树 .

中国专利 :CN115362113A ,2022-11-18

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