基于神经网络的多传输机械手光刻机及其协同控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911285386.4

申请日：

2019-12-13

公开(公告)号：

CN111482958A

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

朱书伟

申请人：

申请人地址：

200000 上海市奉贤区南桥镇华严村358号1幢320室

IPC主分类号：

B25J916

IPC分类号：

代理机构：

天津英扬昊睿专利代理事务所(普通合伙) 12227

代理人：

徐忠丽

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B25J 9/16 申请公布日:20200804
2020-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 9/16 申请日:20191213
2020-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻机的硅片传输机械手控制器 [P].

吕素英 ;

靖书磊 ;

姜杰 ;

田耀杰 .

中国专利 :CN203287744U ,2013-11-13

[2]

基于模糊神经网络的机械手轨迹跟踪控制系统 [P].

缸明义 ;

刘娟 ;

童鑫 ;

宁平华 ;

夏兴国 .

中国专利 :CN111844020A ,2020-10-30

[3]

机械手、基底传输系统和光刻机 [P].

张阔峰 ;

姜杰 ;

郑锋标 ;

郑教增 ;

陈淮阳 ;

陶洪建 ;

王刚 .

中国专利 :CN207402799U ,2018-05-25

[4]

多轴机械手控制系统及机械手主副臂防碰撞的控制方法 [P].

陈瑜若 ;

张天翼 ;

黄建威 ;

周家裕 .

中国专利 :CN114274118A ,2022-04-05

[5]

基于触觉的机械手控制系统 [P].

李建华 .

中国专利 :CN209158419U ,2019-07-26

[6]

基于触觉的机械手控制系统 [P].

李建华 .

中国专利 :CN109262633A ,2019-01-25

[7]

基于伺服电机的机械手协同控制系统及方法 [P].

张明军 ;

曾威 .

中国专利 :CN120773063A ,2025-10-14

[8]

基于伺服电机的机械手协同控制系统及方法 [P].

张明军 ;

曾威 .

中国专利 :CN120773063B ,2025-11-25

[9]

光刻机的污染控制系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

沙鹏飞 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280893A ,2022-04-05

[10]

基于PLC的机械手控制系统及其机械手 [P].

刘琼华 ;

李杰臣 .

中国专利 :CN210757746U ,2020-06-16

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