一种夹持精度高的光刻机用机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422083758.8

申请日：

2024-08-27

公开(公告)号：

CN222932781U

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

刘勇王云鹏汪松亮

申请人：

昆山振业杨亭精密机械有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇恒盛路505号1号厂房

IPC主分类号：

B25J15/00

IPC分类号：

B25J15/06

代理机构：

深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525

代理人：

覃业军

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种夹持精度高的机械手结构 [P].

孙彦岭 ;

李臻 .

中国专利 :CN220864044U ,2024-04-30

[2]

一种夹持精度高的机械手结构 [P].

金永挺 .

中国专利 :CN213290276U ,2021-05-28

[3]

机械手、基底传输系统和光刻机 [P].

张阔峰 ;

姜杰 ;

郑锋标 ;

郑教增 ;

陈淮阳 ;

陶洪建 ;

王刚 .

中国专利 :CN207402799U ,2018-05-25

[4]

光刻机的硅片传输机械手控制器 [P].

吕素英 ;

靖书磊 ;

姜杰 ;

田耀杰 .

中国专利 :CN203287744U ,2013-11-13

[5]

一种夹持机械手 [P].

刘辉 ;

穆勇强 ;

刘永 .

中国专利 :CN217890986U ,2022-11-25

[6]

一种夹持稳定的机械手 [P].

熊林州 .

中国专利 :CN212193222U ,2020-12-22

[7]

一种高精度高灵活性的机械手 [P].

邱耀颉 .

中国专利 :CN221496113U ,2024-08-09

[8]

一种光刻机设备用机械手装置 [P].

于航 ;

刘俊嘉 ;

董志强 ;

马占良 .

中国专利 :CN215449886U ,2022-01-07

[9]

一种注塑机用高精度高效机械手 [P].

骆剑候 .

中国专利 :CN209937589U ,2020-01-14

[10]

一种夹持式机械手 [P].

张昊阳 .

中国专利 :CN218226728U ,2023-01-06

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