用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有其的光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610510807.9

申请日：

2016-06-30

公开(公告)号：

CN107561868A

公开(公告)日：

2018-01-09

发明(设计)人：

马方波吴福龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20180109
2018-01-09	公开	公开
2018-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160630

共 50 条

[1]

光刻机中掩模版的上版方法 [P].

郑椰琴 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102156393B ,2011-08-17

[2]

传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机 [P].

唐文力 ;

朱俊宇 ;

吴芬 ;

郑教增 ;

吴钱忠 ;

祝玥华 .

中国专利 :CN110658685B ,2020-01-07

[3]

机械手、基底传输系统和光刻机 [P].

张阔峰 ;

姜杰 ;

郑锋标 ;

郑教增 ;

陈淮阳 ;

陶洪建 ;

王刚 .

中国专利 :CN207402799U ,2018-05-25

[4]

光刻机的硅片传输机械手控制器 [P].

吕素英 ;

靖书磊 ;

姜杰 ;

田耀杰 .

中国专利 :CN203287744U ,2013-11-13

[5]

用于光刻机中的掩模版固定装置及掩模版固定方法 [P].

黎刚生 ;

顾鲜红 ;

范哲光 .

中国专利 :CN102540779B ,2012-07-04

[6]

掩模版移动装置、光刻机及光刻方法 [P].

丁功明 .

中国专利 :CN110147032A ,2019-08-20

[7]

交换版机械手用吸附装置及交换版机械手 [P].

刘颖 ;

关宏武 ;

王浩楠 ;

林继柱 ;

赵东雷 .

中国专利 :CN118721159A ,2024-10-01

[8]

光刻掩模版、光刻污染物的处理方法、设备及光刻机 [P].

王依 ;

刘天棋 ;

徐月暑 ;

高金铭 ;

包宜骏 ;

匡翠方 .

中国专利 :CN119065198A ,2024-12-03

[9]

交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法 [P].

刘颖 ;

关宏武 ;

王浩楠 ;

郎平 ;

孙杨 ;

赵东雷 ;

林继柱 .

中国专利 :CN115741760B ,2025-06-17

[10]

光刻机整平装置和具有其的光刻机 [P].

曲鲁杰 ;

何少锋 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031401A ,2021-06-25

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