交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211548870.3
申请日
2022-12-05
公开(公告)号
CN115741760B
公开(公告)日
2025-06-17
发明(设计)人
刘颖 关宏武 王浩楠 郎平 孙杨 赵东雷 林继柱
申请人
北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请人地址
100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
IPC主分类号
B25J15/06
IPC分类号
B25J9/16
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
周宇
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
交换版机械手用吸附装置及交换版机械手 [P]. 
刘颖 ;
关宏武 ;
王浩楠 ;
林继柱 ;
赵东雷 .
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[2]
交换版机械手移入移出装置 [P]. 
李洋 ;
郑锋标 ;
郝凤龙 ;
庞飞 .
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[3]
机械手手指、机械手及其使用方法 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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池内宏树 ;
朝间由龙 ;
金田侑 ;
渡边哲阳 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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饭田雅敏 ;
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