一种氮化硅生产工艺控制方法、装置和设备

被引：0

申请号：

CN202211240526.8

申请日：

2022-10-11

公开(公告)号：

CN115417387A

公开(公告)日：

2022-12-02

发明(设计)人：

陈肖华冯留建刘兴平吴万里陈喜清张吉武王思嘉王飞

申请人：

申请人地址：

831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区（工业园）众欣街2249号

IPC主分类号：

C01B21068

IPC分类号：

F27D706 F27D1900

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张敬强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 21/068 申请日:20221011
2022-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氮化硅生产工艺及设备 [P].

林敦莺 .

中国专利 :CN115650183A ,2023-01-31

[2]

一种氮化硅粉体的生产工艺 [P].

朱福林 ;

谭庆文 ;

肖亮 ;

李能 ;

姜杰英 .

中国专利 :CN116789086B ,2024-01-12

[3]

一种联产氮化钛和氮化硅铁的生产工艺 [P].

朱万政 ;

高波 ;

袁玉涛 ;

田博 .

中国专利 :CN119100803B ,2025-04-25

[4]

一种联产氮化钛和氮化硅铁的生产工艺 [P].

朱万政 ;

高波 ;

袁玉涛 ;

田博 .

中国专利 :CN119100803A ,2024-12-10

[5]

氮化硅微晶板及其生产工艺 [P].

徐德军 ;

沈韦 ;

吴明 .

中国专利 :CN115368143A ,2022-11-22

[6]

高纯度氮化硅粉体生产工艺 [P].

王占营 ;

刘宗才 ;

王占军 ;

付随州 ;

王兵 ;

王帅印 ;

王亚辉 ;

王志永 .

中国专利 :CN107857241A ,2018-03-30

[7]

一种氮化硅吸波材料的生产工艺及设备 [P].

肖亮 ;

朱福林 ;

曾小锋 ;

许滔 ;

钱利洪 .

中国专利 :CN115368154A ,2022-11-22

[8]

制作氮化硅陶瓷微珠的生产工艺 [P].

于利学 ;

李正闯 ;

于娜 ;

倪赫隆 .

中国专利 :CN106747473B ,2017-05-31

[9]

稀土钇镧复合氮化硅陶瓷生产工艺 [P].

丁勤 ;

杨婷 .

中国专利 :CN102775150A ,2012-11-14

[10]

一种高α相氮化硅粉体的生产工艺 [P].

夏静豪 ;

夏凡 .

中国专利 :CN112250046B ,2021-01-22

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