真空装置及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010325253.1

申请日：

2020-04-23

公开(公告)号：

CN111304594A

公开(公告)日：

2020-06-19

发明(设计)人：

李王俊陈晨

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

孙海杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20200423
2020-06-19	公开	公开

共 50 条

[1]

真空装置及真空镀膜设备 [P].

李王俊 ;

陈晨 .

中国专利 :CN212270215U ,2021-01-01

[2]

真空装置及真空镀膜设备 [P].

李王俊 ;

陈晨 .

中国专利 :CN111304594B ,2024-07-23

[3]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[5]

镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

刘玮 ;

朱昆 ;

曹健辉 ;

陈惠君 ;

颜学庆 ;

刘晓兰 .

中国专利 :CN114293168A ,2022-04-08

[6]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[7]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[8]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

[9]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[10]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

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