制造硅的反应器和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580027001.4

申请日：

2005-07-26

公开(公告)号：

CN101001810A

公开(公告)日：

2007-07-18

发明(设计)人：

A·米勒 T·西尔 R·松嫩沙因 P·阿德勒

申请人：

申请人地址：

德国弗赖贝格

IPC主分类号：

C01B33035

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

林柏楠;刘金辉

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2007-07-18	公开	公开
2007-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

制造多晶硅的反应器和去除所述反应器的部件上的含硅层的方法 [P].

D·韦克塞尔 .

中国专利 :CN105229198B ,2016-01-06

[2]

用于制造高纯硅的反应器和方法 [P].

U.克拉特 .

中国专利 :CN104245116A ,2014-12-24

[3]

生产硅的反应器和方法 [P].

约瑟夫·菲尔特维特 ;

沃纳·O·菲尔特维特 .

中国专利 :CN102428027A ,2012-04-25

[4]

反应器和制备硅的方法 [P].

R·贝特霍尔德 ;

C·拜尔 ;

A·米勒 ;

C·佩措尔德 ;

T·西尔 ;

U·辛格利尔 ;

R·松嫩沙因 ;

G·齐根巴尔格 .

中国专利 :CN101128393A ,2008-02-20

[5]

反应器、其制造方法和该反应器的用途 [P].

蒂埃里·尼里斯 ;

让－弗朗索瓦·蒂埃里 .

中国专利 :CN100351599C ,2005-07-13

[6]

制造甲醇的方法和反应器 [P].

奥洛夫·达尔伯格 ;

阿尔夫·拉森 .

中国专利 :CN101479222A ,2009-07-08

[7]

生产多晶硅的反应器系统和方法 [P].

丹尼尔·奥斯 .

中国专利 :CN103492318A ,2014-01-01

[8]

用于生产硅的反应器和方法 [P].

约瑟夫·菲尔特维特 ;

沃纳·O·菲尔特维特 ;

阿韦·霍尔特 .

中国专利 :CN102639438A ,2012-08-15

[9]

反应器、制造反应器的方法以及制造产物的方法 [P].

A.雅斯特拉姆 ;

C.基纳 .

中国专利 :CN110773102A ,2020-02-11

[10]

使用卧式反应器制造多晶硅的装置以及该多晶硅的制造方法 [P].

张银洙 ;

金正奎 ;

金庾锡 ;

柳振炯 ;

李正雨 .

中国专利 :CN106458607B ,2017-02-22

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