用于制造高纯硅的反应器和方法

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专利类型
发明
申请号
CN201280070481.2
申请日
2012-12-21
公开(公告)号
CN104245116A
公开(公告)日
2014-12-24
发明(设计)人
U.克拉特
申请人
申请人地址
德国弗罗伊登施塔特
IPC主分类号
B01J1924
IPC分类号
C01B33035
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
梁冰;傅永霄
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
生产高纯硅的方法和反应器 [P]. 
C·罗森科尔德 .
中国专利 :CN101679043A ,2010-03-24
[2]
生产高纯硅的方法和反应器 [P]. 
C·罗森科尔德 .
中国专利 :CN101679044A ,2010-03-24
[3]
制造硅的反应器和方法 [P]. 
A·米勒 ;
T·西尔 ;
R·松嫩沙因 ;
P·阿德勒 .
中国专利 :CN101001810A ,2007-07-18
[4]
生产高纯颗粒硅的反应器 [P]. 
储晞 .
中国专利 :CN103058194A ,2013-04-24
[5]
用于制造高纯硅的方法、通过该方法得到的高纯硅、以及用于制造高纯硅的硅原料 [P]. 
德丸慎司 ;
日吉正孝 ;
近藤次郎 ;
堂野前等 ;
岸田丰 ;
中泽滋 ;
尾上浩三 .
中国专利 :CN104271506B ,2015-01-07
[6]
用于生产硅的反应器和方法 [P]. 
约瑟夫·菲尔特维特 ;
沃纳·O·菲尔特维特 ;
阿韦·霍尔特 .
中国专利 :CN102639438A ,2012-08-15
[7]
生产硅的反应器和方法 [P]. 
约瑟夫·菲尔特维特 ;
沃纳·O·菲尔特维特 .
中国专利 :CN102428027A ,2012-04-25
[8]
反应器和制备硅的方法 [P]. 
R·贝特霍尔德 ;
C·拜尔 ;
A·米勒 ;
C·佩措尔德 ;
T·西尔 ;
U·辛格利尔 ;
R·松嫩沙因 ;
G·齐根巴尔格 .
中国专利 :CN101128393A ,2008-02-20
[9]
用于制造CVD反应器的组件的方法 [P]. 
M.科尔伯格 ;
F.鲁达维特 .
德国专利 :CN113302333B ,2024-07-30
[10]
用于制造CVD反应器的组件的方法 [P]. 
M.科尔伯格 ;
F.鲁达维特 .
中国专利 :CN113302333A ,2021-08-24