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用于制造高纯硅的反应器和方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201280070481.2
申请日
:
2012-12-21
公开(公告)号
:
CN104245116A
公开(公告)日
:
2014-12-24
发明(设计)人
:
U.克拉特
申请人
:
申请人地址
:
德国弗罗伊登施塔特
IPC主分类号
:
B01J1924
IPC分类号
:
C01B33035
代理机构
:
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
:
梁冰;傅永霄
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
引用
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2015-01-14
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101595676151 IPC(主分类):B01J 19/24 专利申请号:2012800704812 申请日:20121221
2014-12-24
公开
公开
2016-02-24
授权
授权
共 50 条
[1]
生产高纯硅的方法和反应器
[P].
C·罗森科尔德
论文数:
0
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0
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0
C·罗森科尔德
.
中国专利
:CN101679043A
,2010-03-24
[2]
生产高纯硅的方法和反应器
[P].
C·罗森科尔德
论文数:
0
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0
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0
C·罗森科尔德
.
中国专利
:CN101679044A
,2010-03-24
[3]
制造硅的反应器和方法
[P].
A·米勒
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A·米勒
;
T·西尔
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T·西尔
;
R·松嫩沙因
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R·松嫩沙因
;
P·阿德勒
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P·阿德勒
.
中国专利
:CN101001810A
,2007-07-18
[4]
生产高纯颗粒硅的反应器
[P].
储晞
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储晞
.
中国专利
:CN103058194A
,2013-04-24
[5]
用于制造高纯硅的方法、通过该方法得到的高纯硅、以及用于制造高纯硅的硅原料
[P].
德丸慎司
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德丸慎司
;
日吉正孝
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日吉正孝
;
近藤次郎
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近藤次郎
;
堂野前等
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堂野前等
;
岸田丰
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岸田丰
;
中泽滋
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中泽滋
;
尾上浩三
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尾上浩三
.
中国专利
:CN104271506B
,2015-01-07
[6]
用于生产硅的反应器和方法
[P].
约瑟夫·菲尔特维特
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约瑟夫·菲尔特维特
;
沃纳·O·菲尔特维特
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沃纳·O·菲尔特维特
;
阿韦·霍尔特
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阿韦·霍尔特
.
中国专利
:CN102639438A
,2012-08-15
[7]
生产硅的反应器和方法
[P].
约瑟夫·菲尔特维特
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约瑟夫·菲尔特维特
;
沃纳·O·菲尔特维特
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沃纳·O·菲尔特维特
.
中国专利
:CN102428027A
,2012-04-25
[8]
反应器和制备硅的方法
[P].
R·贝特霍尔德
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0
R·贝特霍尔德
;
C·拜尔
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0
C·拜尔
;
A·米勒
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0
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A·米勒
;
C·佩措尔德
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C·佩措尔德
;
T·西尔
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T·西尔
;
U·辛格利尔
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U·辛格利尔
;
R·松嫩沙因
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R·松嫩沙因
;
G·齐根巴尔格
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G·齐根巴尔格
.
中国专利
:CN101128393A
,2008-02-20
[9]
用于制造CVD反应器的组件的方法
[P].
M.科尔伯格
论文数:
0
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0
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机构:
艾克斯特朗欧洲公司
艾克斯特朗欧洲公司
M.科尔伯格
;
F.鲁达维特
论文数:
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机构:
艾克斯特朗欧洲公司
艾克斯特朗欧洲公司
F.鲁达维特
.
德国专利
:CN113302333B
,2024-07-30
[10]
用于制造CVD反应器的组件的方法
[P].
M.科尔伯格
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0
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0
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M.科尔伯格
;
F.鲁达维特
论文数:
0
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0
F.鲁达维特
.
中国专利
:CN113302333A
,2021-08-24
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