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抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610200060.7
申请日：
2016-03-31
公开(公告)号：
CN106019831A
公开(公告)日：
2016-10-12
发明(设计)人：
杉原昌子
中西润次
申请人：
申请人地址：
日本国东京都中央区新川二丁目27番1号
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F700
代理机构：
上海市华诚律师事务所 31210
代理人：
杜娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20160331 |
| 2016-10-12 | 公开 | 公开 |