共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911360456.8
申请日：
2019-12-25
公开(公告)号：
CN111381439A
公开(公告)日：
2020-07-07
发明(设计)人：
杉原昌子
肥后睦子
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
葛凡
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20191225 |
| 2020-07-07 | 公开 | 公开 |