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金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110664955.7
申请日：
2016-06-29
公开(公告)号：
CN113403574A
公开(公告)日：
2021-09-17
发明(设计)人：
三上菜穗子 田村纯香 寺田玲尔 仓田真嗣 藤户大生 西辻清明 西刚广
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424 C23F116 C23F102 C23F128 H01L5156
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
戚宏梅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-10-08 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20160629
2021-09-17 公开 公开
共 50 条
[1]
金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P]. 
三上菜穗子 ;
田村纯香 ;
寺田玲尔 ;
仓田真嗣 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 .
中国专利 :CN107429380A ,2017-12-01
[2]
金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P]. 
三上菜穗子 ;
田村纯香 ;
寺田玲尔 ;
仓田真嗣 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 .
中国专利 :CN110117767A ,2019-08-13
[3]
蒸镀用金属掩模基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P]. 
田村纯香 ;
新纳干大 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 ;
三上菜穗子 .
中国专利 :CN109440060B ,2019-03-08
[4]
蒸镀用金属掩模基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P]. 
田村纯香 ;
新纳干大 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 ;
三上菜穗子 .
中国专利 :CN107406963B ,2017-11-28
[5]
蒸镀用金属掩模、蒸镀用金属掩模的制造方法及蒸镀用金属掩模形成基材 [P]. 
阿部裕一郎 ;
出町泰之 ;
武田宪太 .
中国专利 :CN107923031B ,2018-04-17
[6]
蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法 [P]. 
森田贵之 .
日本专利 :CN116438324B ,2025-12-02
[7]
蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法 [P]. 
田村纯香 ;
新纳干大 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 ;
三上菜穗子 ;
仓田真嗣 ;
武田宪太 .
日本专利 :CN117821896A ,2024-04-05
[8]
蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法 [P]. 
田村纯香 ;
新纳干大 ;
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 ;
三上菜穗子 ;
仓田真嗣 ;
武田宪太 .
中国专利 :CN106350768A ,2017-01-25
[9]
金属掩模用基材、金属掩模用基材的制造方法、以及金属掩模的制造方法 [P]. 
桥本有史 .
日本专利 :CN121002212A ,2025-11-21
[10]
金属掩模基材、金属掩模、以及金属掩模的制造方法 [P]. 
藤户大生 ;
西辻清明 ;
西刚广 .
中国专利 :CN107849681A ,2018-03-27
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