金属掩模基材、金属掩模、以及金属掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680041439.6

申请日：

2016-03-22

公开(公告)号：

CN107849681A

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

藤户大生西辻清明西刚广

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

H01L5150 H05B3310

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

牛玉婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	公开	公开
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20160322

共 50 条

[1]

金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法 [P].

田村纯香 ;

三上菜穗子 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 .

中国专利 :CN107406964B ,2017-11-28

[2]

金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法 [P].

田村纯香 ;

三上菜穗子 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 .

中国专利 :CN109440062B ,2019-03-08

[3]

金属掩模用基材、金属掩模、以及金属掩模的制造方法 [P].

新纳干大 ;

楠冈谅 ;

高桥康祐 .

日本专利 :CN120380191A ,2025-07-25

[4]

金属掩模用基材、金属掩模用基材的制造方法、以及金属掩模的制造方法 [P].

桥本有史 .

日本专利 :CN121002212A ,2025-11-21

[5]

金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P].

三上菜穗子 ;

田村纯香 ;

寺田玲尔 ;

仓田真嗣 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 .

中国专利 :CN113403574A ,2021-09-17

[6]

金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P].

三上菜穗子 ;

田村纯香 ;

寺田玲尔 ;

仓田真嗣 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 .

中国专利 :CN107429380A ,2017-12-01

[7]

金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P].

三上菜穗子 ;

田村纯香 ;

寺田玲尔 ;

仓田真嗣 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 .

中国专利 :CN110117767A ,2019-08-13

[8]

蒸镀用金属掩模基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 [P].

田村纯香 ;

新纳干大 ;

藤户大生 ;

西辻清明 ;

西刚广 ;

三上菜穗子 .

中国专利 :CN109440060B ,2019-03-08

[9]

金属掩模材料和金属掩模 [P].

近藤祐幸 .

中国专利 :CN106917063A ,2017-07-04

[10]

金属掩模材料及金属掩模 [P].

近藤祐幸 .

中国专利 :CN107012421A ,2017-08-04

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