共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种由电容式绝压MEMS实现的小型化差压传感器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920978892.0
申请日：
2019-06-27
公开(公告)号：
CN209841267U
公开(公告)日：
2019-12-24
发明(设计)人：
王志
褚月
申请人：
申请人地址：
200000 上海市浦东新区秀浦路2388号2幢504室
IPC主分类号：
G01L1306
IPC分类号：
代理机构：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572
代理人：
段宇
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-24 | 授权 | 授权 |