一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010996100.X

申请日：

2020-09-21

公开(公告)号：

CN112113670B

公开(公告)日：

2020-12-22

发明(设计)人：

许高斌杨朝晖陈士荣陈兴马渊明王琪李海生

申请人：

申请人地址：

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

IPC主分类号：

G01J512

IPC分类号：

H01L3514 H01L3522 H01L3532 H01L3534 B81B702 B81C100

代理机构：

合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114

代理人：

徐伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-22	公开	公开
2021-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/12 申请日:20200921
2021-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS热电堆红外探测器 [P].

李俊萍 ;

张新伟 ;

蔡清华 ;

薛静静 ;

潘守彬 .

中国专利 :CN118999799A ,2024-11-22

[2]

一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法 [P].

张琛琛 ;

丁雪峰 ;

毛海央 .

中国专利 :CN111470469A ,2020-07-31

[3]

一种MEMS热电堆红外探测器的制备方法 [P].

毛海央 ;

张琛琛 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN111924796A ,2020-11-13

[4]

MEMS热电堆红外探测器芯片 [P].

李刚 ;

桑新文 .

中国专利 :CN202195888U ,2012-04-18

[5]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

丁雪峰 ;

张琛琛 ;

毛海央 .

中国专利 :CN112903117A ,2021-06-04

[6]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

朱健 ;

王丹丹 ;

周智君 .

中国专利 :CN214334037U ,2021-10-01

[7]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

张琛琛 ;

毛海央 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN111896121A ,2020-11-06

[8]

一种热电堆及其制备方法、热电堆红外探测器 [P].

周娜 ;

毛海央 ;

李俊杰 ;

高建峰 ;

杨涛 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN114335317A ,2022-04-12

[9]

一种热电堆红外探测器 [P].

李吉光 ;

李晓坤 ;

徐一舟 .

中国专利 :CN112951974A ,2021-06-11

[10]

一种热电堆红外探测器 [P].

刘瑞文 ;

焦斌斌 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN102244190A ,2011-11-16

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